太阳能電池片科普系列——(鍍膜)PECVD篇

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PECVD( Plasma  Enhanced  Chemical Vapor  Deposition)等离子加强化學气相沉积，等离子體是物資份子热活动加重，互相間的碰撞會致使气體份子發生電离，物資就會酿成自由活动并由互相感化的正离子、電子和中性粒子構成的夹杂物。

据测算，光在硅概况的反射丧失率高达35%摆布，減反膜可以极高地提高電池片對太阳光的操纵率，有助于提高光生電流密度，進而提高转换效力，同時薄膜中的氢對付電池片概况的钝化低落了發射结的概况复合速度，減小了暗電流，晋升了開路電压，提高了光電转换效力；在烧穿工藝中的高温瞬時退火断裂了一些Si-H、N-H键，游离出来的H進一步增强了對電池的钝化。
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因為光伏级硅材猜中不成防止的含有大量的杂質和缺點，致使硅中少子寿命及分散长度低落，從而致使電池的转换效力降低，H能與硅中的缺點或杂質举行反响，從而将禁带中的能带转入價带或导带。

1、PECVD道理

PECVD  體系是一组操纵平行板鍍膜舟和高频等离子激起器的系列產生器。在低压和升温的环境下，等离子產生器直接装在鍍膜板中心產生反响。所用的活性气體為硅烷SiH4和氨NH3。這些气體感化于存储在硅片上的氮化硅。可以按照扭转硅烷對氨气的比率，来获得分歧的折射指数。在沉积工藝中，伴随大量的氢原子和氢离子的發生，使得晶片的氢钝化性十分杰出。

在真空、480摄氏度的情况温度下，經由過程對石墨舟的导電，使硅片的概况鍍上一层SixNy。

3SiH4+4NH3 → Si3N4+12H2

2、Si3N4

Si3N4膜的色彩跟着它的厚度的變革而變革，一般抱负的厚度是75—80nm之間，表示為深蓝色，Si3N4膜的折射率在2.0—2.5之間结果最佳，通經常使用酒精来测其折射率。

良好的概况钝化结果、高效的光學減反射機能（厚度折射率匹配）、低温工藝（有用低落本錢）、天生的H离子對硅片概况钝化.

3、鍍膜車間常见事項

膜厚。沉积時候的分歧膜厚也是纷歧样的要按照鍍膜的色彩来得當的@增%t4MR4%长或削%hA8w8%減@它的沉积時候，電影發白要削減沉积時候，如偏红则要得當的增长。每舟電影要周全简直認，不容许把不良品流入到下道工序，如色斑、水印鍍膜不良，應實時治療椎間盤突出,挑出

產線最多见的概况發白、色差、白點，此中概况發白重要因為氮化硅膜较厚致板橋汽車借款, 使，可經由過程调理膜沉积時候来调解；色差片重要因為气路梗塞、石英管漏气、微波妨碍等致使；白斑重要因為前道小斑點致使。

反射率、折射率等的监测、特别气體的平安等。

概况發白色差片白斑

PECVD是太阳能電池片中比力首要的工序，也是表現一個企業太阳能電池片效力的一個首要指标，PECVD工序一般较忙，每批電池片都必要监测，且鍍膜炉管较多，每管一般几百片（视装备而定），更改工藝参数後，驗证周期较长。鍍膜技能是全部光伏行業比力器重的技能，太阳能電池的效力晋升可以經由過程鍍膜技能的晋升来實現，太阳能電池范畴的科學家们也乐此不疲，将来太阳能電池概况技能也许有可能成為太阳能電池理論效力的冲破口。

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原創：北极星（天天不定量更新）